常温で形成されたPt/Si界面反応層の電顕観察 TEM observation of Pt/Si interface formed at room temperature

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収録刊行物

  • 高温学会誌  

    高温学会誌 25(4), 5, 1999-07-20 

参考文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004659580
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00080051
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    03871096
  • データ提供元
    CJP書誌 
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