SAICAS法による薄膜の付着強度測定法 The Measurement of Adhesion of Thin Film with the"SAICAS"Method

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抄録

膜厚が1μmオーダの薄膜の付着強度評価を行うため, SAICAS法の測定方法を検討した. 試料の固定方法および切刃稜の試料表面合わせ方法を改良した結果, 薄膜の付着強度を定量的に測定することが可能となった。

The SAICAS method was applied for the measurement of the adhesive strength of the thin film with one-micrometer thickness. The film setting by vacuum- staging and the accurate alignment of blade to the film surface were found to be essential for the quantitative estimation of the adhesion force.

収録刊行物

  • マテリアルライフ  

    マテリアルライフ 11(3), 124-126, 1999-07-30 

    MATERIALS LIFE SOCIETY, JAPAN

参考文献:  4件

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キーワード

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004660955
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10530609
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09153594
  • NDL 記事登録ID
    4893624
  • NDL 雑誌分類
    ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
  • NDL 請求記号
    Z14-1501
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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