ＳＡＩＣＡＳ法による薄膜の付着強度測定法

• 西山 逸雄

  三菱電機 (株) 先端技術総合研究所

• 寺本 和良

  三菱電機 (株) 先端技術総合研究所

書誌事項

タイトル別名

• The Measurement of Adhesion of Thin Film with the "SAICAS" Method.
• SAICASホウ ニ ヨル ハクマク ノ フチャク キョウド ソクテイホウ

抄録

The SAICAS method was applied for the measurement of the adhesive strength of the thin film with one-micrometer thickness. The film setting by vacuum- staging and the accurate alignment of blade to the film surface were found to be essential for the quantitative estimation of the adhesion force.

収録刊行物

• マテリアルライフ

  マテリアルライフ 11 (3), 124-126, 1999

  マテリアルライフ学会

キーワード

• SAICAS
• Adhesion
• Thin film
• PVD
• CVD

詳細情報

• CRID: 1390001204340540288
• NII論文ID: 10004660955
• NII書誌ID: AN10530609
• DOI: 10.11338/mls1989.11.124
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD3cXitFShug%3D%3D
• ISSN: 21857024
• ISSN: 09153594
• NDL書誌ID: 4893624
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4893624
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可