マグネトロンスパッタ法によるカーボン保護膜と表面特性 Carbon Protective Films Prepared by Magnetron Sputtering and Their Surface Characteristics

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著者

    • 神山 道也 KAMIYAMA Michinari
    • 富士電機(株)電子カンパニー 松本工場 媒体第一開発部 Media Technology & Engineering Department, Matsumoto Factory, Electronics Company, Fuji Electric Co., Ltd.

収録刊行物

  • トライボロジスト  

    トライボロジスト 45(3), 191-197, 2000-03-15 

    日本トライボロジ-学会

参考文献:  6件

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被引用文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004665897
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10056166
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151168
  • NDL 記事登録ID
    5308261
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-540
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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