解説 マグネトロンスパッタ法によるカーボン保護膜と表面特性

• 神山 道也

Bibliographic Information

Other Title

• カイセツ マグネトロンスパッタホウ ニ ヨル カーボン ホゴ マク ト ヒョウメン トクセイ
• 小特集 最近の硬質薄膜成膜技術
• ショウトクシュウ サイキン ノ コウシツ ハクマクセイマク ギジュツ

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編

  トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 45 (3), 191-197, 2000-03

  東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-

Keywords

• DLC
• DLC:N
• a-C
• a-C:N
• magnetron sputtering
• CSS
• CVD

Details

• CRID: 1520009408499638784
• NII Article ID: 10004665897
• NII Book ID: AN10056166
• ISSN: 09151168
• NDL BIB ID: 5308261
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5308261
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles