ECRスパッタ法によるカーボン保護膜 Carbon Protective Films Prepared by ECR Plasma Sputtering

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著者

収録刊行物

  • トライボロジスト

    トライボロジスト 45(3), 204-210, 2000-03-15

    日本トライボロジ-学会

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004665924
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10056166
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151168
  • NDL 記事登録ID
    5309000
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-540
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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