最近のクリーン・非接触搬送技術　クリーン環境下での転がり要素技術

• 林田 一徳

  光洋精工 (株) 総合技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• Clean and Non-contact Transportation Technology. Rolling Bearing Technology for Clean Circumstances.
• クリーン カンキョウカ デ ノ コロガリ ヨウソ ギジュツ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 63 (7), 933-937, 1997

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• ball bearing
• roller bearing
• linear bearing
• clean
• vacuum
• dust generation
• degassing
• stainless steel
• ceramics
• solid lubricant
• fluid lubricant

詳細情報

• CRID: 1390282679742184576
• NII論文ID: 110001367857
• NII論文ID: 10004666218
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.63.933
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 4247770
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4247770
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles