クリーンルームの分子状汚染物質対策 Countermeasures against Airborne Molecular Contaminants in Clean Room

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  • エアロゾル研究 = Journal of aerosol research

    エアロゾル研究 = Journal of aerosol research 15(2), 163-168, 2000-06-20

    日本エアロゾル学会

参考文献:  40件中 1-40件 を表示

  • <no title>

    SEMATEC

    Technology Transfer #950528 A-TR, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    MACDONALD S. A.

    Proc.SPIE 2, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAIKI A.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 2504, 1994

    被引用文献6件

  • <no title>

    林嗣郎

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 185-186, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    岡村典明

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 178-180, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    若山恵英

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 181-184, 1999

    被引用文献2件

  • <no title>

    田中勲

    第15回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 9-12, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    呂俊民

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 175-177, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    飯嶋和明

    第15回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 75-78, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    飯嶋和明

    第16回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 9-12, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    吉崎誠司郎

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 1-4, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    細谷昌孝

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 5-8, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    渡辺高弘

    第16回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 1-4, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    鈴木令

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 187-189, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    中島啓之

    第16回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 5-8, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    中島啓之

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 9-12, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    岡田孝夫

    空気清浄 37, 48-52, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    五味弘

    第11回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 197-202, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    鈴木令

    第14回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 1-4, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    三澤雄一

    第15回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 51-56, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    奥田章子

    第15回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 61-64, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    日本空気清浄協会

    クリーンルーム構成材から発生する分子状汚染物質の測定方法指針(案), 1999

    被引用文献2件

  • <no title>

    BUDDE K.

    Annual Meeting of Institute of Environmental Sciences 155, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    SEMI E46-95

    Test Method for the Determination of Organic Contaminants from Minienvironment, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    大谷吉生

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 83-86, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    井上正憲

    日本機械学会熱工学講演会予稿集, 319-321, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    岡田孝夫

    空気清浄 37, 56-59, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    阪田総一郎

    第15回エアロゾル科学 技術研究討論会予稿集, 113-118, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    佐藤克巳

    第17回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 25-26, 1999

    被引用文献1件

  • クリーンルーム内化学汚染発生源

    呂 俊民

    空気清浄 36(2), 70-76, 1998-07-31

    参考文献22件 被引用文献4件

  • 化学汚染の製造プロセスへの影響

    斉木 篤

    空気清浄 36(2), 64-69, 1998-07-31

    参考文献12件 被引用文献5件

  • HEPAフィルタによるボロン汚染防止対策

    小西秀明

    月刊SEMICONDUCTOR 9(16), 181-185, 1990

    被引用文献3件

  • クリーンルームにおける化学汚染の測定と評価

    呂俊民

    クリーンテクノロジー 7(9), 1-6, 1997

    被引用文献3件

  • 高性能フィルタにおけるボロン汚染対策

    岡田 孝夫

    空気清浄 36(6), 403-406, 1999-03-31

    参考文献5件 被引用文献2件

  • ケミカルワッシャ T-GET

    増島政義

    クリーンテクノロジー 9, 19,20, 1997

    被引用文献2件

  • イオン交換樹脂ろ材

    宮田 圭 , 関口 英明 , 須郷 高信

    空気清浄 36(3), 188-198, 1998-09-30

    参考文献8件 被引用文献3件

  • 半導体製造工程における汚染制御対象物質の動向

    藤本 武利

    エアロゾル研究 = Journal of aerosol research 14(1), 19-26, 1999-03-20

    DOI 参考文献29件 被引用文献2件

  • クリーンルーム関連規格の国際的統一化への動き -ISO/TC209における国際規格作成作業とその概要-

    藤井 修二 , 諏訪 好英

    エアロゾル研究 = Journal of aerosol research 14(1), 27-32, 1999-03-20

    DOI 参考文献6件 被引用文献1件

  • NH_3-SO_2-CO_2希薄水溶液の気液平衡特性

    井上 正憲 , 吉田 隆紀 , 青木 秀之 , 猪股 宏 , 三浦 隆利

    化学工学論文集 25(5), 677-682, 1999-09-10

    J-STAGE DOI 参考文献10件 被引用文献3件

  • 空気中の化学汚染の低減対策

    阪田 総一郎 , 佐藤 克己 , 高橋 秀人 , 岡田 孝夫

    空気清浄 36(2), 82-90, 1998-07-31

    参考文献15件 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004668108
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10041511
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09122834
  • NDL 記事登録ID
    5381774
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-1062
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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