低圧装置内のパーティクルの汚染

• 山川 洋幸

  日本真空技術(株) 筑波超材料研究所　所長

書誌事項

タイトル別名

• Particle Contamination in Low-Pressure Equipment
• テイアツ ソウチ ナイ ノ パーティクル ノ オセン

収録刊行物

• エアロゾル研究

  エアロゾル研究 14 (4), 317-322, 1999

  日本エアロゾル学会

キーワード

• Particle
• Contamination
• Vacuum
• Adhesion
• Plasma
• Pumping/Venting

詳細情報

• CRID: 1390282679319091200
• NII論文ID: 10004668224
• NII書誌ID: AN10041511
• DOI: 10.11203/jar.14.317
• ISSN: 1881543X
• ISSN: 09122834
• NDL書誌ID: 4946890
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4946890
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles