超高速2GHzLSIを実現する ための0.1μmプロセス用絶 縁材料の開発に成功 -ナノメートルオーダーの空洞の形状 制御技術"Nanocavity"

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収録刊行物

  • 化学と工業 = Chemistry and chemical industry  

    化学と工業 = Chemistry and chemical industry 53(3), 287-289, 2000-03-01 

    日本化学会

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004678932
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037562
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    00227684
  • NDL 記事登録ID
    5292828
  • NDL 雑誌分類
    ZP1(科学技術--化学・化学工業)
  • NDL 請求記号
    Z17-65
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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