解説 超高速2GHZ LSIを実現するための0.1μmプロセス用絶縁材料の開発に成功--ナノメートルオーダーの空洞の形状制御技術" Nanocavity"

• 成澤 俊明

• 福山 俊一

• 松浦 東

Bibliographic Information

Other Title

• カイセツ チョウコウソク 2GHZ LSI オ ジツゲン スル タメ ノ 0 1マイクロm プロセスヨウ ゼツエン ザイリョウ ノ カイハツ ニ セイコウ ナノメートルオーダー ノ クウドウ ノ ケイジョウ セイギョ ギジュツ Nanocavity

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• 化学と工業 = Chemistry & chemical industry

  化学と工業 = Chemistry & chemical industry 53 (3), 287-289, 2000-03

  東京 : 日本化学会

Details

• CRID: 1520572359025691136
• NII Article ID: 10004678932
• NII Book ID: AN00037562
• ISSN: 00227684
• NDL BIB ID: 5292828
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5292828
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP1(科学技術--化学・化学工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles