解説 超高速2GHZ LSIを実現するための0.1μmプロセス用絶縁材料の開発に成功--ナノメートルオーダーの空洞の形状制御技術" Nanocavity"

• 成澤 俊明

• 福山 俊一

• 松浦 東

書誌事項

タイトル別名

• カイセツ チョウコウソク 2GHZ LSI オ ジツゲン スル タメ ノ 0 1マイクロm プロセスヨウ ゼツエン ザイリョウ ノ カイハツ ニ セイコウ ナノメートルオーダー ノ クウドウ ノ ケイジョウ セイギョ ギジュツ Nanocavity

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 化学と工業 = Chemistry & chemical industry

  化学と工業 = Chemistry & chemical industry 53 (3), 287-289, 2000-03

  東京 : 日本化学会

詳細情報

• CRID: 1520572359025691136
• NII論文ID: 10004678932
• NII書誌ID: AN00037562
• ISSN: 00227684
• NDL書誌ID: 5292828
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5292828
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP1(科学技術--化学・化学工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles