半導体製造の信頼性-分析の視点から- Reliability of the Si Semiconductor Devices Manufature-From a Viewpoint of Analysis-

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  • 化学と工業 = Chemistry and chemical industry

    化学と工業 = Chemistry and chemical industry 51(11), 1741-1744, 1998-11

    日本化学会

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

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    MARCUS R. B.

    J. Electrochem. Soc. 129, 1278, 1982

    被引用文献2件

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    青木茂

    日本結晶学会誌 26, 236, 1984

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    青木茂

    Semiconductor 5, 89, 1986

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    青木茂

    日本金属学会誌 54, 1297, 1990

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    青木茂

    日本金属学会誌 56, 494, 1992

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    青木茂

    日本化学会第71秋季年会, 1996

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    合同大会講演予稿集

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    日本化学会 化学関係学協会連合協議会 380, 1996

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    ABRAHAMS M. S.

    J.Appl.Phy. 45, 3315, 1974

    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004681520
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037562
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    00227684
  • NDL 記事登録ID
    4590613
  • NDL 雑誌分類
    ZP1(科学技術--化学・化学工業)
  • NDL 請求記号
    Z17-65
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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