CVD法によるTiおよびTi合金基板へのダイヤモンド膜の合成とその耐摩耗性

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  • CVDホウ ニ ヨル Ti オヨビ Ti ゴウキン キバン エ ノ ダイヤモンド マク ノ ゴウセイ ト ソノ タイマモウセイ

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抄録

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