精密切削加工による微細構造形成の試み -微細スパイラル電極の形成- A trial fabrication of micro structures by ultra precision cutting -Formation of micro spiral electrode-

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抄録

A new fabrication method for electrostatic actuators is proposed. This method uses precision cutting technique to fabricate minute grooves which will be filled up with electro-plated metal layer to from fine three phase electrodes. Two types of sample electrodes with 40 micrometer pitch are fabricated on the surface of cylinders of 10mm diameter polyimide. One of the fabricated electrode was able to drive insulating fluid by applying pulse voltages. Though there were some defects on those electrodes, the breakdown voltage was as high as 1000V, which shows the potential ability of this fabrication method.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 117(1), 33-38, 1997-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  3件

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被引用文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004831859
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4106306
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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