「MEMS技術」-特集号の発行にあたって-

• 佐藤 一雄

  名古屋大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• For the Special Issue on MEMS Technology
• MEMS ギジュツ トクシュウゴウ ノ ハッコウ ニ アタッテ

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 117 (8), 395-398, 1997

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Mechanical Engineering

詳細情報

• CRID: 1390001204461970944
• NII論文ID: 10004832324
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.117.395
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 4267500
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4267500
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/117/8/117_8_395/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles