New Molding Technique Using Ultra-fine Particles for Realization of Three Dimensional Micro Structure (特集:MEMS技術) New Molding Technique Using Ultra-fine Particles for Realization of Three Dimensional Micro Structure

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  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 117(8), 432-433, 1997-08

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

  • <no title>

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    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004832421
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4267509
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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