「センサ・アクチュエータ用無機能性薄膜プロセス技術」-特集号の企画にあたって- Preface to the Special Issue on "Fabrication Technologies of Inorganic Functional Thin Films for Sensors and Actuators"

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収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 117(10), 487, 1997-10 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004832570
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4304104
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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