センサ・アクチュエータ用無機能性薄膜プロセス技術 III.ECRスパッタ法を用いたPZT薄膜の形成と評価 Fabrication Technologies of Inorganic Functional Thin Films for Sensors and Actuators.III.Deposition and Evaluation of PZT Thin Film Using ECR Sputtering.

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 117(10), 497-500, 1997-10 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  9件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

被引用文献:  2件

被引用文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004832644
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4304107
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
ページトップへ