Jet-Printing-System 法による圧電厚膜の形成

• 安達 日出夫

  オリンパス光学工業株式会社

• 黒田 吉己

  オリンパス光学工業株式会社

• 柳沢 一向

  オリンパス光学工業株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Preparation of Piezoelectric Thick Films by Jet-Printing-System Method
• Jet-Printing-Systemホウ ニヨル アツデン アツマク ノ ケ

抄録

Pb (Zr, Ti) O3 piezoelecteric thick films have been prepared on Pt/Cr/SiO2/Si by means of an improved jet printing system (JPS). X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microprobe (SEM) analysis and measurements of electrical properties including dielectricity, ferroelectricity and piezoelectricity have been carried out on films. A very high depossition rate of 3μm/min and films with thickness above 100μm have been obtained without peeling. However, the films prepared in this fasion demonstrate lower piezoelectric behavior than bulk PZT ceramics. The reason for this has been explored by using element analysis.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 117 (10), 507-512, 1997

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 厚膜
• JPS法
• 誘電性
• 強誘電性
• 圧電性

詳細情報

• CRID: 1390282679438360704
• NII論文ID: 10004832668
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.117.507
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 4304109
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4304109
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/117/10/117_10_507/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可