高アスペクト比リソグラフィによる電鋳型の作製とその応用

• 中村 滋男

  東京大

• Basrour Skandar

  LPMO

• 鈴木 耕世

  東京大

• 藤田 博之

  東京大

書誌事項

タイトル別名

• A fabrication method of electroforming molds and its applications

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 117 (10), 532-533, 1997

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• マイクロマシン
• 高アスペクト比リソグラフィ
• 電鋳
• アクチュエータ

詳細情報

• CRID: 1390282679438398848
• NII論文ID: 10004832715
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.117.532
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/117/10/117_10_532/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles