Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film (特集:特殊イメ-ジング技術) MONOLITHIC PYROELECTRIC INFRARED IMAGE SENSOR USING PVDF THIN FILM

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

抄録

A 16×16 monolithic pyroelectric infrared image sensor has been developed. The image sensor utilizes an electro-spray (ESP) deposited polyvinylidene fluoride (PVDF) thin film as a pyroelectric material, a buried channel MOSFET as a low noise detection device, and a micromachined four-beams supported membrane as a thermal isolation structure. A voltage sensitivity of 6600V/W and a detectivlty of 1.6×10<sup>7</sup>cmHz<sup>1/2</sup>W<sup>-1</sup> have been realized with a sensing area of 75×75μm<sup>2</sup>.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 117(12), 607-611, 1997-12-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  7件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

被引用文献:  2件

被引用文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004832818
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4353772
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
ページトップへ