256×256画素ボロメータ型非冷却赤外線センサ

• 和田 英男

  防衛庁技術研究本部

• 長嶋 満宏

  防衛庁技術研究本部

• 島 毅

  日本電気株式会社

• 土川 稔

  日本電気株式会社

• 小田 直樹

  日本電気株式会社

書誌事項

タイトル別名

• 256×256 Uncooled Microbolometer Focal Plane Array
• 256 256 ガソ ボロメータガタ ヒ レイキャク セキガイセン センサ

抄録

Improvement in sensitivity performance of uncooled infrared sensor and increase in pixel numbers of the sensor have been accelerated. It is the first time in Japan that the uncooled camera is realized, which employs 256 ×256 uncooled bolometer sensor elements. Vanadium Oxide material is selected for the uncooled bolometer sensor whose element size is 50μm×50μm and formed on the diaphragm bridge structure.<br>As a result, it has a NETD of 0.2K for an f/1.0 lens at 30 frames per second.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 117 (12), 612-616, 1997

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 不可視情報撮像素子
• 非冷却
• 赤外
• ボロメータ
• 酸化バナジウム

詳細情報

• CRID: 1390282679438186752
• NII論文ID: 10004832826
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.117.612
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 4353773
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4353773
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/117/12/117_12_612/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可