並列動作WO₃薄膜センサによるNOx検知

• 中込 真二

  石巻専修大学

書誌事項

タイトル別名

• NOx Sensing by Thin-Film WO₃ Sensors Operated in Parallel

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 118 (2), 168-169, 1998

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• センサ
• 蒸着
• 動作温度
• 並列動作

詳細情報

• CRID: 1390282679439412736
• NII論文ID: 10004833283
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.118.168
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/118/2/118_2_168/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles