Fabrication and Experiment of Planar Micro Ion Drag Pump

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抄録

A micro ion drag pump with planar electrodes on a glass substrate is fabricated and tested. The pump consisted of a 2-dimensional electrode pair array is driven by DC voltage using unipolar conduction. Ethyl alcohol is pumped in both directions, and the flow rate and the pressure are measured, in channels of depth 100μm or 200μm and width fixed at 3mm. It is found that the pump could be fabricated easily and at lower cost than the micro ion drag pumps previously investigated.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 118(5), 255-259, 1998-05-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  12件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004833417
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4474253
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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