マイクロ・アクチュエータのためのゾルーゲル法によるPZT積層膜の作製と評価 Preparation and Characterization of Sol-Gel Derived PZT Thin Films for Micro Actuators

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抄録

The Pb(Zr<sub>1-x</sub>Ti<sub>x</sub>)O<sub>3</sub>, (PZT) of thickness of 3μm was fabricated using Sol-Gel spinning-coating onto Pt/Ti/SiO<sub>2</sub>/Si substrates. The preferred orientation of the PZT films was observed using X-ray diffraction analysis (XRD) and the microstructure was investigated using scanning electron microscopy (SEM). The preferred orientations in the direction of the (100) plane were obtained using the treatment for pyrolysis at 573K and for crystallization at 823K. The present PZT films showed dielectric constants about 1200. Ferroelectricity of these films was established with the values of the remnant polarization of 12.5μC/cm<sup>2</sup> and the coercive field of 29.0kV/cm.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 119(4), 254-259, 1999-04 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  21件

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被引用文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004833885
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4705272
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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