(株)村田製作所 技術開発本部

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  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 119(4), 267, 1999-04

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

  • <no title>

    KAWAI H.

    第16回センサシンポ, 37-40, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    KOBAYASHI S.

    Proceeding of MEMS'98, 195-200

    被引用文献1件

  • <no title>

    吉野

    センサ材料プロセス研究会資料

    被引用文献1件

  • <no title>

    田中

    センサ材料プロセス研究会資料

    被引用文献1件

  • Vibrating Silicon Microgyroscope

    Mochida Yoichi , Tanaka Katsuhiko , Sugimoto Masakazu , Moriya Kazufumi , Hasegawa Tomoyasu , Atsuchi Kenichi , Ohwada Kuniki

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 116(7), 283-288, 1996

    J-STAGE DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004833917
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    13418939
  • データ提供元
    CJP書誌 
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