mG分解能のサーボ加速度センサ An Electrostatic Servo-Accelerometer with mG Resolution

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抄録

An electrostatic servo silicon accelerometer with mG resolution for measurment of the seismic movement was developed. The sensor is composed of a glass-silicon-glass structure by using bulk silicon micromaching techniques. It has a mass and four suspending beams. The working range of the sensor is ±1G and operating frequency bandwidth is 1kHz. The resolution is 1.6mG. To achieve high sensitivity thin beams are required for springs and shield electrodes are formed on the glass to prevent an electrostatic bonding of the beam to the glass.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 119(7), 368-373, 1999-07 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  9件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004834096
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4780443
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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