X線照射を用いたマイクロキャピラリ用傾斜側壁の加工技術 Micro Capillary Array Chip For DNA Analysis Fabricated by Deep X-ray Lithography

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抄録

A concept of new micro capillary array chip for DNA analysis was proposed and it was fabricated by deep X-ray lithography technology. The chip was made of PMMA and it contains 20 micro channels with width of 50μm, depth of 100μm and space between channels of 10 to 50μm. As an technique to control an inclination angle of a micro channel side wall, a newly developed moving mask LIGA (M<sup>2</sup>LIGA) technology was proposed. The side wall inclination angle was successfully controlled between 90 to 70 degree by varying a diameter of a mask movement.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 119(10), 482-488, 1999-10 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  16件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004834315
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    4866327
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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