間接ESDに伴う電磁パルスの測定と解析

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タイトル別名
  • カンセツ ESD ニ トモナウ デンジ パルス ノ ソクテイ ト カイセキ
  • Measurement and Analysis of Electromagnetic Pulses due to Indirect ESD

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抄録

静電気放電に伴って放射される電磁波は広い周波数帯域を有する高速の電磁パルスであり,電子装置の誤動作の原因となっている。現状では高速の電磁パルスを測定する手段が十分に確立されておらず,周波数領域上で行われることが多かった。しかし,装置を効果的に防護する手法を検討するためには,時間領域における波形測定も重要な課題である。本論文では,バイコニカルアンテナ等のEMI評価用の広帯域アンテナを広範囲の周波数領域をカバーするように複数使用し,時間領域における電磁パルスの測定を試みた。ところで,アンテナで電磁パルス波形を再現するためには,位相成分を含めたアンテナ係数が必要である。本論文では,エネルギースペクトルで電磁パルスを評価する方法によりアンテナ係数の位相項を用いずにその評価が可能であることを示した。ここで,既知の電磁パルスの測定波形をもとに,エネルギー量の相対的な値を比較した結果,2~6dB程度の精度を目安に波形の評価ができることがわかった。そして,放電電圧と電磁エネルギーの関係を求め,放電電圧が低い場合ほど,より高い周波数成分のエネルギーの割合が増加することを示した。

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