大気圧マイクロプラズマジェットの微細加工への応用 Application of Atmospheric-Pressure Microplasma Jets to High-Speed Microfabrication

収録刊行物

表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan  

表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 52(12), 843-844, 2001-12-01 

社団法人 表面技術協会

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID) :
    10007482403
  • NII書誌ID(NCID) :
    AN1005202X
  • 本文言語コード :
    JPN
  • 資料種別 :
    REV
  • ISSN :
    09151869
  • DOI :
    10.4139/sfj.52.843
  • 収録DB :
    CJP書誌  CJP引用  Journal@rchive