大気圧マイクロプラズマジェットの微細加工への応用 Application of Atmospheric-Pressure Microplasma Jets to High-Speed Microfabrication

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収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 52(12), 843-844, 2001-12-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

  • ドライエッチング

    古川静二郎

    ULSIプロセスの基礎技術 4章, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    日本学術振興会153委員会

    プラズマ材料科学ハンドブック 140, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    TAURA R.

    Proc. XXV Int. Conf. on Phenomena in Ionized Gases 4, 255-256, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    GRIEM H. R.

    Plasma Spectroscopy, 1964

    被引用文献32件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10007482403
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  J-STAGE 
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