マイクロ物理　マイクロ機構の動的計測手法

• 諸貫 信行

  東京都立大学工学部精密機械工学科

書誌事項

タイトル別名

• Micro Physics. Dynamic Measurement of Micro-mechanical-systems.
• マイクロ キコウ ノ ドウテキ ケイソク シュホウ

収録刊行物

• 日本ロボット学会誌

  日本ロボット学会誌 14 (8), 1109-1112, 1996

  一般社団法人 日本ロボット学会

キーワード

• Micro-mechanical-system
• Measurement
• Displacement
• Force
• Torque

詳細情報

• CRID: 1390001204724900352
• NII論文ID: 10007547861
• NII書誌ID: AN00141189
• DOI: 10.7210/jrsj.14.1109
• ISSN: 18847145
• ISSN: 02891824
• NDL書誌ID: 4087016
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4087016
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles