クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性

• 黒川 裕次郎

  株式会社アルバック・コーポレートセソター

• 竹内 協子

  株式会社アルバック・コーポレートセソター

• 辻 泰

  株式会社アルバック・コーポレートセソター

• 降矢 新治

  アルパック・クライオ株式会社

• 森本 秀敏

  アルパック・クライオ株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Pumping Characteristics for Hydrogen of a Cryopump in the Ultimate Pressure Region.
• クライオポンプ ノ トウタツ アツリョク フキン ニ オケル スイソ ハイキ

収録刊行物

• 真空

  真空 35 (3), 102-105, 1992

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679041649152
• NII論文ID: 10007953641
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.35.102
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 3768882
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3768882
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles