過渡的な微小圧力変化の光干渉を用いた測定 Measurement of Pulsed Low Pressure Variation Using Optical Interference Method

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抄録

平板に接近する渦輪が平板上に引き起こす持続時間数100msec, 圧力数Paの過渡的な微小圧力変動を光干渉を用いて高感度で測定する方法を検討した.被測定圧力は厚さが0.2μm, 大きさ2mm角の薄い窒化シリコン製のダイヤフラムに導かれ, ダイヤフラムを変位させる.このダイヤフラムの変位をHe/Neレーザを用いた光干渉により検出する.ダイヤフラムの内部応力を制御することにより, 圧力測定の感度を最適化した.この手法を利用して, 渦輪が接近する平板上の圧力変動を測定した.

Pressure measurement technique for pulsed small pressure variation with duration range of several hundreds msec and the pressure range of several Pa on a flat wall induced by an approaching vortex ring was presented. The pressure variation causes deflection of a thin silicon nitride diaphragm with a thickness of 0.2μm and a size of 2 mm square. The deflection of the diaphragm was measured by optical interference method using a He/Ne laser. A sensitivity was optimized by selecting the internal stress of the diaphragm. This measurement technique was applied to a measurement of pressure variation on a flat wall induced by an approaching vortex ring.

収録刊行物

  • ながれ : 日本流体力学会誌

    ながれ : 日本流体力学会誌 11(3), 191-199, 1992-09-30

    The Japan Society of Fluid Mechanics

参考文献:  20件中 1-20件 を表示

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008003323
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00175191
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    02863154
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  J-STAGE 
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