新しい結晶成長技術化学気相たい積法によるSiCエピタキシャル成長における大型らせん転位の分解 Dissociation of large screw dislocation via SiC epitaxial growth by CVD

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  • 應用物理

    應用物理 71(5), 576-577, 2002-05-10

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008201098
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03698009
  • データ提供元
    CJP書誌 
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