マイクロシステム(マイクロマシン,MEMS/MOEMS)とその応用

• 堀江 三喜男

Bibliographic Information

Other Title

• マイクロ システム マイクロマシン MEMS MOEMS ト ソノ オウヨウ
• 特集 マイクロフルードパワー
• トクシュウ マイクロフルードパワー

Journal

• フルードパワーシステム = Journal of the Japan Fluid Power System Society : 日本フルードパワーシステム学会誌 / 日本フルードパワーシステム学会 編

  フルードパワーシステム = Journal of the Japan Fluid Power System Society : 日本フルードパワーシステム学会誌 / 日本フルードパワーシステム学会 編 33 (3), 137-140, 2002-05

  東京 : 日本フルードパワーシステム学会

Details

• CRID: 1520572359688019328
• NII Article ID: 10008201166
• NII Book ID: AA11597760
• ISSN: 13467719
• NDL BIB ID: 6140172
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6140172
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles