チタンターゲットスパッタにおけるチタンイオンの分光測定 Optical Spectroscopy for Titanium Ions in Titanium Magnetron Sputtering

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抄録

Plasma diagnostics in titanium (Ti) rf (13.56 MHz) magnetron sputtering were carried out using optical emission spectroscopy and atomic absorption spectrometry. Ti ions (Ti II) optical emission intensity in pure argon (Ar) discharge was compared with calculated optical emission intensity. Ti II absorption signal was obtained using absorption line of 336.1 nm, 337.3 nm, 338.4 nm (α<SUP>4</SUP><I>F</I>-<I>z</I><SUP>4</SUP><I>G</I>°). The dependence of Ti II optical emission intensity on rf power and Ar pressure was also investigated.

収録刊行物

  • 真空

    真空 45(3), 169-172, 2002-03-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

  • <no title>

    山下睦雄

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    ROSSNAGEL S. M.

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    中村忠

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    中村忠

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    篠木藤敏

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    KUSANO E.

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    DOI 被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008202869
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    6144180
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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