誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタによる光学多層膜フィルタの作製と二酸化炭素濃度検出への応用

  • 原 仁
    横河電機株式会社マイクロマシン研究室
  • 岸 直輝
    横河電機株式会社マイクロマシン研究室

書誌事項

タイトル別名
  • Micro Variable Infrared Filter using Magnetron Sputtering System Enhanced with an Inductively Coupled RF Plasma for CO2 Measurement.
  • ユウドウ ケツゴウ コウシュウハ プラズマ シエン マグネトロンスパッタ ニ ヨル コウガク タソウ マク フィルタ ノ サクセイ ト 2サンカタンソ ノウド ケンシュツ エ ノ オウヨウ

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抄録

We have developed a micro variable infrared filter using a magnetron sputtering system enhanced with inductively coupled RF plasma, and have demonstrated CO2 concentration measurement using silicon micro bolometers and the filter as a Non-Dispersive Infra-Red (NDIR) system. The micro variable infrared filter was tuned to two different wavelengths, on and off the CO2 absorption band at 4.3 μm. By combining the NDIR sysytem with a conventional infrared source, concentration of CO2 could be measured in a range of 1000-5000 ppm, with a reproducibility of ± 3.6% (3σ) of the measured values.

収録刊行物

  • 真空

    真空 44 (4), 440-444, 2001

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (12)*注記

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