書誌事項
- タイトル別名
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- Micro Variable Infrared Filter using Magnetron Sputtering System Enhanced with an Inductively Coupled RF Plasma for CO2 Measurement.
- ユウドウ ケツゴウ コウシュウハ プラズマ シエン マグネトロンスパッタ ニ ヨル コウガク タソウ マク フィルタ ノ サクセイ ト 2サンカタンソ ノウド ケンシュツ エ ノ オウヨウ
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抄録
We have developed a micro variable infrared filter using a magnetron sputtering system enhanced with inductively coupled RF plasma, and have demonstrated CO2 concentration measurement using silicon micro bolometers and the filter as a Non-Dispersive Infra-Red (NDIR) system. The micro variable infrared filter was tuned to two different wavelengths, on and off the CO2 absorption band at 4.3 μm. By combining the NDIR sysytem with a conventional infrared source, concentration of CO2 could be measured in a range of 1000-5000 ppm, with a reproducibility of ± 3.6% (3σ) of the measured values.
収録刊行物
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- 真空
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真空 44 (4), 440-444, 2001
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報
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- CRID
- 1390282679041884672
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- NII論文ID
- 10007389206
- 10008218950
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 5758605
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可