磁気ディスク装置における高精度位置決め用マイクロアクチュエータの開発

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収録刊行物

  • 精密工学会春季大会. シンポジウム資料

    精密工学会春季大会. シンポジウム資料 2002, 14-18, 2002-03-01

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008480946
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11137068
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • データ提供元
    CJP書誌 
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