Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第3報):平面内3軸同時測定および位置決め

• 社本 英二

  神戸大学工学部

• 田口 敏彰

  神戸大学工学部

• 森脇 俊道

  神戸大学工学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 118-, 2002-03-01

Details

• CRID: 1571980074595501440
• NII Article ID: 10008499800
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles