機能的ポリシングペーパーディスクの基礎実験(第3報)-粒状化アルミナ含有ディスクによる平面度-

• 中村等

収録刊行物

• 2001年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集

  2001年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 404

詳細情報

• CRID: 1572543024546550016
• NII論文ID: 10008500430
• データソース種別:
  • CiNii Articles