YAGレーザによるガラス基板のマイクロ接合(第2報):基板温度が接合形態に及ぼす影響

• 荒金 秀則

  豊橋技科大

• 鈴木 浩文

  豊橋技科大

• 渋谷 秀雄

  豊橋技科大

• 堀内 宰

  豊橋技科大

• 船山 強

  豊橋技科大院

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 370-, 2002-03-01

詳細情報

• CRID: 1573387449476526592
• NII論文ID: 10008500561
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles