誘導電荷フィードバックによる圧電素子の変位制御(第2報)-パラレルメカニズム制御への応用-

• 古谷克司

Journal

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 65 (10), 1445-1449, 1999

Details

• CRID: 1570854174685807488
• NII Article ID: 10008500785
• Data Source:
  • CiNii Articles