アルミ磁気ディスク基板のサブナノメータ超平滑ポリシングの高能率化(続報):コロイダルシリカを用いた高速度・高圧力ポリシング特性の検討

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 481, 2002-03-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

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    安井

    精密工学会誌 60(1), 128, 1994

    被引用文献1件

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    安井

    2001年度精密工学会春季講演会講演論文集 503, 2001

    被引用文献2件

  • <no title>

    安井

    2001年度精密工学会秋季講演会講演論文集 427, 2001

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008500826
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • データ提供元
    CJP書誌 
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