Role of Slurry Flow Rate and Solids Content on Critical Tribological and Fluid Dynamics Attributes of ILD CMP

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著者

    • PHILIPOSSIAN Ara
    • Department of Chemical and Environmental Engineering University of Arizona
    • OLSEN Scott
    • Department of Chemical and Environmental Engineering University of Arizona
    • MITCHELL Erin
    • Department of Chemical and Environmental Engineering University of Arizona

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 504-505, 2002-03-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    TSENG

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    被引用文献1件

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    被引用文献1件

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    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008500887
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    SHO
  • データ提供元
    CJP書誌 
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