STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第2報):気孔制御による低スクラッチ化

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  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 512, 2002-03-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    BULEY T.

    2001 Proc. CMP-MIC 535

    被引用文献1件

  • <no title>

    安井

    2001年度精密工学会秋季大会学術講演会 413

    被引用文献2件

  • <no title>

    KATAGIRI S.

    SSDM extended abstracts, 16-17, 2001

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008500907
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • データ提供元
    CJP書誌 
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