第一原理分子動力学シミュレーションによるEEM(Elastic Emission Maching)加工機構の解明:加工物表面構造に対する反応性の依存性

• 稲垣 耕司

  大阪大学大学院工学研究科

• 山内 和人

  大阪大学大学院工学研究科

• 神尾 豪

  大阪大学大学院工学研究科

• 中越 亮佑

  大阪大学大学院工学研究科

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科

• 広瀬 喜久治

  大阪大学大学院工学研究科

• 森 勇蔵

  大阪大学大学院工学研究科

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 611-, 2002-03-01

詳細情報

• CRID: 1571980074592691968
• NII論文ID: 10008501179
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles