次世代高密度光ディスクの基盤厚ずれ高速計測とその自動補正制御

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 748, 2002-03-01

参考文献:  1件中 1-1件 を表示

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    ICHIMURA I.

    Jpn.J.Appl.Phys. 39, 937, 2000

    被引用文献37件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008501559
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • データ提供元
    CJP書誌 
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