フェムト秒超加工による透明誘電体材料の機能化 Functionalization of Transparent Dielectric Materials by Femtosecond Fabrication with Super-Resolution

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著者

    • 三澤 弘明 MISAWA Hiroaki
    • 徳島大学大学院工学研究科工コシステムエ学専攻 Department of Ecosystem Engineering Graduate School of Engineering, The University of Tokushima

抄録

Functionalization of dielectric materials such as crystals, glasses (silica-related or polymers), and liquid polymerizable resins by femtosecond (100-500 fs) irradiation is summarized. The modification was carried out by employing tight focusing optics with numerical aperture typically NA > 0.6. This allows to produce 3D optical memory and photonic crystals (PhC) by implementing a principle of the focal spot scanning inside silica glass or polymerizable resin. PhCs can be also fabricated by encoding the 3D hologram in negative polymer photoresist. Optically modified regions of dielectric were found to respond sensitively to wet etching. The contrast in the etching rate is over 50, which makes it possible to fabricate 3D channels for microfluidics inside dielectrics.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 30(5), 239-243, 2002-05-15

    The Laser Society of Japan

参考文献:  22件中 1-22件 を表示

  • <no title>

    JUODKAZIS S.

    Nature 408, 178, 2000

    被引用文献5件

  • <no title>

    WATANABE M.

    Phys. Rev. B 60, 9959, 1999

    被引用文献9件

  • <no title>

    WATANABE M.

    Appl. Phys. Lett. 74, 3957, 1999

    被引用文献13件

  • <no title>

    YAMAZAKI K.

    Appl. Phys. Lett. 76, 1000, 2000

    被引用文献6件

  • <no title>

    JUODKAZIS S.

    Applied Surface Science 154/155, 696, 2000

    被引用文献3件

  • <no title>

    SUN H. -B.

    J. Phys. Chem. B. 104, 3450, 2000

    被引用文献6件

  • <no title>

    WATANABE M.

    Appl. Phys. Lett. 77, 13, 2000

    被引用文献9件

  • <no title>

    WATANABE M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 39, 6763, 2000

    被引用文献10件

  • <no title>

    JUODKAZIS S.

    Proc. SPIE 4347, 212, 2001

    被引用文献3件

  • <no title>

    MARCINKEVICIUS A.

    Opt. Lett 26, 277, 2001

    被引用文献10件

  • <no title>

    和木亮一

    2001年春季応用物理学関係連合講演会 30a-ZF-4, 2001

    被引用文献3件

  • <no title>

    SUN H. -B.

    Opt.Rev. 6, 396, 1999

    被引用文献9件

  • <no title>

    SUN H.-B.

    Opt. Lett 26, 325, 2001

    被引用文献12件

  • <no title>

    MIZEIKIS V.

    2001年春季応用物理学関係連合講演会 29-ZH-6, 29-ZH6, 2001

    被引用文献2件

  • <no title>

    HORIYAMA M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 38, L 212, 1999

    被引用文献4件

  • <no title>

    SUN H. -B.

    Opt. Lett. 25, 1110, 2000

    被引用文献5件

  • <no title>

    SUN H.-B.

    Appl. Phys. Lett. 74, 786, 1999

    被引用文献16件

  • <no title>

    CUMPSTON B. H.

    Nature 398, 51, 1999

    被引用文献14件

  • <no title>

    SUN H.-B.

    Appl. Phys. Lett. 79, 1, 2001

    被引用文献12件

  • <no title>

    KONDO T.

    Appl. Phys. Lett. 79, 725, 2001

    被引用文献6件

  • Femtosecond Two-photon Stereo-lithography

    MIWA M.

    Appl. Phys. A 73(5), 561-566, 2001

    被引用文献9件

  • Three-Dimensional Optical Data Storage in Vitreous Silica

    Watanabe Mitsuru , Sun Hongbo , Juodkazis Saulius , Takahashi Toshimasa , Matsuo Shigeki , Suzuki Yoshihisa , Nishii Jyunji , Misawa Hiroaki

    Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters 37(12B), L1527-L1530, 1998-12-15

    応用物理学会 J-STAGE 参考文献22件 被引用文献39件

被引用文献:  2件中 1-2件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008508823
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    6168130
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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