フェムト秒レーザーのシングルパルス干渉露光による無機材料の微細加工とその応用

  • 河村 賢一
    科学技術振興事業団 ERATO 細野透明電子活性プロジェクト
  • 平野 正浩
    科学技術振興事業団 ERATO 細野透明電子活性プロジェクト
  • 細野 秀雄
    科学技術振興事業団 ERATO 細野透明電子活性プロジェクト 東京工業大学 応用セラミックス研究所

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication of Micro-Gratings on Inorganic Materials by Two-Beam Holographic Method Using Infrared Femtosecond Laser Pulses.
  • レーザー解説 フェムト秒レーザーのシングルパルス干渉露光による無機材料の微細加工とその応用
  • レーザー カイセツ フェムトビョウ レーザー ノ シングルパルス カンショウ ロコウ ニ ヨル ムキ ザイリョウ ノ ビサイ カコウ ト ソノ オウヨウ

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抄録

This paper describes the nanomachining of inorganic materials by two-beam holographic method using high peak power infrared femtosecond laser pulses. Micro-grating structures can be holographically encoded in any type of materials by colliding a pair of pulses split from a single femtosecond laser pulse. We also describe the periodic nano-structure array in crossed holographic gratings on silica glass by two femtosecond laser pulses. A variety of periodic nano-structures from a one-dimensional wire array to two-dimensional arrays of hole or island were formed by changing the energy density and the incident angle of the irradiation laser beams.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 30 (5), 244-250, 2002

    一般社団法人 レーザー学会

被引用文献 (2)*注記

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参考文献 (45)*注記

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