フェムト秒レーザーのシングルパルス干渉露光による無機材料の微細加工とその応用 Fabrication of Micro-Gratings on Inorganic Materials by Two-Beam Holographic Method Using Infrared Femtosecond Laser Pulses

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著者

    • 河村 賢一 KAWAMURA Ken-ichi
    • 科学技術振興事業団ERATO細野透明電子活性プロジェクト Hosono Transparent Electro Active Materials (TEAM) Project, ERATO, JST
    • 平野 正浩 HIRANO Masahiro
    • 科学技術振興事業団ERATO細野透明電子活性プロジェクト Hosono Transparent Electro Active Materials (TEAM) Project, ERATO, JST
    • 細野 秀雄 HOSONO Hideo
    • 科学技術振興事業団ERATO細野透明電子活性プロジェクト Hosono Transparent Electro Active Materials (TEAM) Project, ERATO, JST

抄録

This paper describes the nanomachining of inorganic materials by two-beam holographic method using high peak power infrared femtosecond laser pulses. Micro-grating structures can be holographically encoded in any type of materials by colliding a pair of pulses split from a single femtosecond laser pulse. We also describe the periodic nano-structure array in crossed holographic gratings on silica glass by two femtosecond laser pulses. A variety of periodic nano-structures from a one-dimensional wire array to two-dimensional arrays of hole or island were formed by changing the energy density and the incident angle of the irradiation laser beams.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 30(5), 244-250, 2002-05-15

    The Laser Society of Japan

参考文献:  25件中 1-25件 を表示

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008508846
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    6168146
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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