超高純度物質とその製造 : 超純水 Ultrapure Water

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収録刊行物

  • 化学工学

    化学工学 66(5), 305-309, 2002-05-05

    化学工学会

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    半導体基板技術研究会

    超純水の科学, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    浦井

    検査技術 6(12), 6, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    オルガノ株式会社超純水編集委員会

    超純水, 1991

    被引用文献1件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008572466
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037212
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03759253
  • NDL 記事登録ID
    6151115
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-53
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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